²úÆ·ÐÎò£º
ÒÔÂÈÑõ»¯ï¯ÎªÖÊÁÏ£¬¾ÝÍÈ¡¹¤ÒÕ¾ÙÐÐï¯îþÊèÉ¢£¬»ñµÃ¶þÑõ»¯îþ¡£
Ó¦ÓùæÄ££º
îþµÄÈÈÖÐ×Ó²¶»ñ½ØÃæ´ó£¬ÊǽÏÀíÏëµÄÖÐ×ÓÎüÊÕÌ壬¿É×÷Ô×Ó·´Ó¦¶ÑµÄ¿ØÖưôºÍ±£»¤×°Öá£îþ·Û¿É×÷»ð¼ýµÄÍÆ½øÆ÷¡£ÔÚµçÆ÷¹¤ÒµÉÏ¿ÉÖÆÔìXÉäÏ߹ܵÄÒõ¼«¡£Hf-TaºÏ½ð¿ÉÖÆÔ칤¾ß¸Ö¼°µç×èÖÊÁϵȡ£
¶þÑõ»¯îþÊÇÒ»ÖÖ¾ßÓÐ¿í´øÏ¶ºÍ¸ß½éµç³£ÊýµÄÌÕ´ÉÖÊÁÏ£¬åÇÀ´ÔÚ¹¤Òµ½çÌØÊâÊÇ΢µç×ÓÁìÓò±»ÒýÆð¼«¶ËµÄ¹Ø×¢£¬ÓÉÓÚËü×î¿ÉÄÜÌæ»»¹è»ù¼¯³Éµç·µÄ½¹µãÆ÷¼þ½ðÊôÑõ»¯Îï°ëµ¼Ì峡ЧӦ¹ÜµÄÕ¤¼«¾øÔµ²ã¶þÑõ»¯¹è£¬ÒÔ½â¾öMOSFETÖйŰåSiO2/Si½á¹¹µÄÉú³¤µÄ³ß´ç¼«ÏÞÎÊÌâ¡£
ÊÖÒÕÖ¸±ê£º
ÏîÄ¿ |
HfO2+ZrO2 |
ÉÕʧÁ¿ |
ZrO2 |
||
Ò»¼¶ |
¶þ¼¶ |
Èý¼¶ |
|||
º¬Á¿/% |
≥96 |
¡Ü0.5 |
¡Ü0.5 |
¡Ü1 |
¡Ü3 |
*±ê×¼ÑùÆ·Óɿͻ§Ó빩ӦÉÌÐÉÌÈ·¶¨
Çå¾² Ó¦½ÓÄÉÓÅÒìµÄ¹¤ÒµÎÀÉúϰ¹ß£¬×èÖ¹±¬·¢»Ò³¾¡£Óйر¾²úÆ·´¦Öóͷ£µÄ¸ü¶àÐÅÏ¢£¬Çë²ÎÔÄÖÊÁÏÇå¾²Êý¾Ý±í¡£ |
Öü´æ ±¾²úÆ·²»Ó¦¸Ã´æ·ÅÔÚÊÒÍâ»ò¶Ìì´æ·Å¡£Ó¦µ±×èÖ¹ÈκÎÓëË®·Ö¼°Ëá¼îµÄÇÖÊ´ÒòËØµÄÖ±½Ó½Ó´¥¡£ |
ʳÎï½Ó´¥ ¿Í»§Ó¦µ±Í¨¹ýÁªÏµÌÚ²©tengbo9885¹ÙÍø¼¯ÍÅÒÔ×·ÇóÈ·ÈÏ×ñÊØÏêϸ»®¶¨¡£ |
°ü×° 100kg/Ͱ£¬ÄÚËÜÍâÌúͰ¡£ |